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(1) 二流體扇面噴頭:自動擺動旋轉(zhuǎn)噴液加背洗功能,兩路液體加流量計。
(2) 旋轉(zhuǎn)電機:轉(zhuǎn)速要求:0~5000rpm,旋涂步驟、旋涂速度、加速度可自由編輯
(3) 腔體內(nèi)配置手動開啟清洗程序按鈕(帶防誤觸蓋子)
(4) 腔體外配置腳踏板開關(guān):開關(guān)清洗單元真空的腳踏板開關(guān),點動開啟,點動關(guān)閉
(5) 腔體外配置排廢閥和廢液桶收集清洗后的廢液(和噴涂單元廢液桶分開)。