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自動QD噴涂機，主要用于在晶圓表面噴涂甲苯、正己烷、UV液體，設備腔體密封，注入相應壓力流量的氮氣，氮氣需循環(huán)排放過濾使用。

設備主要由升降片盒（兩個片盒平臺）、中間布局機器人（負責晶圓的傳輸）、噴涂單元（配四套膠套－承片臺自動旋轉(zhuǎn)）、清洗單元（CUP自動升降）、自動加液、流速控制系統(tǒng)、控制系統(tǒng)及排液系統(tǒng)、配手氣操箱的檢測部份裝置等組成，整機采用框架結(jié)構(gòu)，外表為優(yōu)質(zhì)不銹鋼護板，工作方式為自動上下片，自動完成噴膠、清洗、傳輸?shù)綑z測區(qū)的工藝。噴涂工藝流程：取片-對中-噴涂-見氧-清洗-排出。

一、片盒介紹

1.片盒單元加有密閉的緩沖腔體，每個部件都能承受氮氣與真空的條件，以及可手動打開后，按啟動按鈕完成腔體的排氧及進氮功能;

2.組成部份：升降固定板、片盒升降板、導桿、導線桿、電缸片盒板、片盒擋條、擋塊、卡條、按鈕傳感器;

二、機械手介紹

機械手單元主要用于在各單元間傳送晶片。采用高精度伺服電機控制同步帶驅(qū)動機械手，以滿足機械手定位精度。保證晶圓對中準確，不影響工作。機械手負責晶圓傳輸工作，從片盒到噴涂單元，再從噴涂單元到清洗單元，同時從清洗單元再傳輸?shù)綑z測區(qū)的片盒中，這個工藝順序是可以根據(jù)工藝菜單編輯；機械手單元主要用于在各單元間傳送晶片。采用高精度伺服電機控制同步帶驅(qū)動機械手，以滿足機械手定位精度。保證晶圓對中準確，不影響工作。

三、噴膠單元

（1） 四個二流體噴頭，四路供液系統(tǒng)，每一路都可以單獨開啟關(guān)閉，每一路加流量監(jiān)控，磁力流量計加傳感器。氣路加流量計與潤濕功能。

（2） 噴頭流量范圍：1～30ml/min，流量在屏幕界面可以自由設置；

（3） 配置一個噴涂坐標校準和預掃描功能（光打點定位輔助設定噴涂坐標）；

（4） 腔體外配置腳踏板開關(guān)：用于手動操作時噴涂單元真空和腔體排氣的開關(guān)。真空腳踏板為點動開啟，點動關(guān)閉，排氣腳踏板為踩下時排氣，腳松時停止排氣；

（5） 調(diào)頻風泵和手動調(diào)節(jié)蝶閥控制噴涂作業(yè)時氣體循環(huán)；

（6） 噴頭霧化N2氣路和其他N2配置為獨立的廠務接口；

（7） 腔體外配置排廢閥和廢液桶收集廢液；

四、清洗系統(tǒng)

         清洗單元主要用于單片的清洗功能，噴嘴也有加自動升降及旋轉(zhuǎn)功能，同時CUP實現(xiàn)升降功能，以便于取放晶圓；液體自動供給，真空吸附基片。CUP有防濺及排液功能，排液留有球閥控制；主軸轉(zhuǎn)速可調(diào)調(diào)控。CUP材料為PP材質(zhì)，同時液體有排液桶及報警功能，以便于處理液體。

（1） 二流體扇面噴頭：自動擺動旋轉(zhuǎn)噴液加背洗功能，兩路液體加流量計。

（2） 旋轉(zhuǎn)電機：轉(zhuǎn)速要求：0~5000rpm，旋涂步驟、旋涂速度、加速度可自由編輯

（3） 腔體內(nèi)配置手動開啟清洗程序按鈕（帶防誤觸蓋子）

（4） 腔體外配置腳踏板開關(guān)：開關(guān)清洗單元真空的腳踏板開關(guān)，點動開啟，點動關(guān)閉

（5） 腔體外配置排廢閥和廢液桶收集清洗后的廢液（和噴涂單元廢液桶分開）。