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我們懷著極大的興奮,邀請(qǐng)陜西能源職業(yè)技術(shù)學(xué)院的師生們蒞臨我們公司進(jìn)行一次精彩紛呈的企業(yè)參觀活動(dòng)!學(xué)校到企業(yè)參觀學(xué)習(xí)有助于學(xué)生發(fā)展實(shí)踐技能。在企業(yè)現(xiàn)場(chǎng),學(xué)生有機(jī)會(huì)親自參與到一些實(shí)際操作中,學(xué)生們的愛姆加之旅這對(duì)于培養(yǎng)他們的實(shí)際動(dòng)手能力和解決問(wèn)題的能力至關(guān)重要。通過(guò)與企業(yè)專業(yè)人士的互動(dòng),學(xué)生能夠?qū)W到更多實(shí)用的技能和經(jīng)驗(yàn),這對(duì)他們未來(lái)就業(yè)起到積極的推動(dòng)作用。學(xué)校到企業(yè)參觀學(xué)習(xí)還有助于激發(fā)學(xué)生的職業(yè)興趣和規(guī)劃未來(lái)。很多學(xué)生在參觀了企業(yè)后可能會(huì)對(duì)某個(gè)行業(yè)或職業(yè)方向產(chǎn)生濃厚興趣,學(xué)生們的愛姆加之旅這有助于他們更加明確自己的職業(yè)目標(biāo)。通過(guò)與企業(yè)從業(yè)者的交流,學(xué)生可以獲得關(guān)于職業(yè)發(fā)展的建議和指導(dǎo),有助于更好地規(guī)劃自己的職業(yè)生涯。學(xué)校到企業(yè)參觀學(xué)習(xí)是一種極富教育意義的活動(dòng),它不僅為學(xué)生提供了與實(shí)際工作環(huán)境接觸的機(jī)會(huì),也促進(jìn)了他們的綜合素養(yǎng)發(fā)展。學(xué)生們的愛姆加之旅加強(qiáng)了學(xué)校與企業(yè)的溝通交流,使學(xué)生能夠更好地為未來(lái)的職業(yè)生涯做好準(zhǔn)備。
?? 發(fā)現(xiàn)創(chuàng)新科技:讓學(xué)生親身感受我們公司的科技設(shè)備和創(chuàng)新工作流程,為未來(lái)科技領(lǐng)域的發(fā)展提供新的思路和靈感。
?? 實(shí)踐與學(xué)術(shù)結(jié)合:我們將為學(xué)生提供一個(gè)融合學(xué)術(shù)知識(shí)與實(shí)際應(yīng)用的機(jī)會(huì),讓他們了解職場(chǎng)需要的技能和素養(yǎng)。
?? 與行業(yè)專業(yè)人士交流:學(xué)生們將有機(jī)會(huì)與我們公司的專業(yè)人才面對(duì)面交流,聽取他們的職業(yè)建議和實(shí)踐經(jīng)驗(yàn)分享。
愛姆加專業(yè)從事半導(dǎo)體和顯示行業(yè)工藝設(shè)備的設(shè)計(jì)、生產(chǎn),以及半導(dǎo)體和顯示行業(yè)工藝技術(shù)開發(fā)、技術(shù)服務(wù)。所提供的半導(dǎo)體和顯示工藝設(shè)備產(chǎn)品包括:勻膠機(jī)、半自動(dòng)和全自動(dòng)勻膠顯影機(jī)、半導(dǎo)體噴膠機(jī)、槽式(Wet Bench)及單片(Single Wafer)的蝕刻-剝離-清洗自動(dòng)生產(chǎn)線。我們公司技術(shù)人員帶領(lǐng)學(xué)生了解了全自動(dòng)勻膠顯影機(jī),現(xiàn)介紹如下:勻膠顯影機(jī)結(jié)構(gòu)分為晶圓盒工作站、工藝處理部分與光刻機(jī)聯(lián)機(jī)的機(jī)口界面。勻膠顯影機(jī)流程的控制程序:光刻材料的旋涂和烘烤-晶圓背面清洗-光刻機(jī)曝光-去離子水清洗-后烘烤-顯影。勻膠顯影機(jī)內(nèi)的主要工藝單元有:晶圓表面增粘處理、光刻膠旋涂單元、烘烤和冷卻、邊緣曝光、顯影單元、光刻膠線條倒塌及其解決辦法。勻膠顯影機(jī)清洗單元工藝:去離子水沖洗、晶圓背面清洗(邊緣夾持技術(shù)、分區(qū)域背面清洗)。技術(shù)人員帶領(lǐng)學(xué)生操作勻膠顯影機(jī)如下步驟:
開機(jī)和打開軟件等操作步驟:
1.開啟設(shè)備電源。按下顯示屏左上方綠色電源ON按鈕開啟設(shè)備電源,再按下設(shè)備后上方UPS電源開啟工控機(jī)PC的電源,再按下顯示屏上方黃色ROBOT電源按鈕(按下時(shí)間需保證在0.5秒~5秒之間),打開機(jī)器人伺服開關(guān)。
2. 檢查真空和壓縮空氣壓力是否達(dá)到。查看設(shè)備后方的各真空壓力表和壓縮空氣壓力表的顯示值,若為零則是真空或壓縮空氣未開啟需要開啟。
3.打開軟件。雙擊桌面desktop _ctc 快捷圖標(biāo)打開軟件。進(jìn)入軟件界面操作之前需要登錄,可選擇OEM用戶,暫時(shí)無(wú)密碼。
4. 初始化設(shè)備各單元。點(diǎn)擊軟件界面下方第3個(gè)圖標(biāo)按鈕SERVICE, 再點(diǎn)擊SERVICE界面右邊緣第4個(gè)圖標(biāo)按鈕Init,再在Init界面中點(diǎn)左下部AllI Init 按鈕,然后等待初始化完成,所有按鈕的文字由白色恢復(fù)為黑色表示全部初始化完成。(軟件啟動(dòng)之后只需要進(jìn)行一次初始化,除非出現(xiàn)錯(cuò)誤報(bào)警,否則不需要再次進(jìn)行初始化) (如果初始化過(guò)程中發(fā)生報(bào)警報(bào)警鈴響且界面 上方Alarm和Buzer off圖標(biāo)按鈕變紅色,表示某個(gè)單元存在問(wèn)題,需要聯(lián)系設(shè)備相關(guān)工程師解決問(wèn)題)
自動(dòng)勻膠操作步驟:
1.將晶片(wafer) 放入片盒(assette) 中(暫時(shí)第1槽位(slot1) 先不要放入,第1槽位目前存在問(wèn)題),然后將片盒放到片盒臺(tái)面的左邊卡槽(對(duì)應(yīng)軟件中的片盒CS1)中,放好之后檢查片盒外部晶片邊緣是否豎直對(duì)齊。
2.點(diǎn)擊軟件界面下方第1個(gè)圖標(biāo)按鈕MAIN,然后點(diǎn)擊MAIN界面左部的LOT1 Control按鈕(與步驟1中的CS1對(duì)應(yīng))。
3.檢查L(zhǎng)OT1 Control按鈕彈出界面中的晶片尺寸WaferSize (3Inch 或4Inch)是否正確,槽位范圍Range設(shè)置(自動(dòng)運(yùn)行時(shí)一般為1-25)、循環(huán)次數(shù)Loop Count是否為1。若配置無(wú)誤,點(diǎn)擊Select Lot Recipe按鈕選擇正確的勻膠自動(dòng)運(yùn)行配方(例如cot _test al)。配方選擇好之后點(diǎn)擊Start按鈕,即開始自動(dòng)運(yùn)行勻膠程序。
4.自動(dòng)運(yùn)行結(jié)束之后會(huì)有響鈴提示,同時(shí)Buzzer off按鈕變紅色,取下片盒或者點(diǎn)擊Buzzeroff按鈕即可關(guān)閉鈴聲。若要退出軟件點(diǎn)擊界面右上方的Exit按鈕。
自動(dòng)顯影操作步驟與上述步驟相似,不同的地方有:
1.在上述第1步中將片盒放在右邊卡槽中(對(duì)應(yīng)軟件中的片盒CS2) (并非必須要這樣,兩邊卡槽其實(shí)都可以運(yùn)行)。
2.在上述第2步中點(diǎn)擊MAIN界面左部的LOT2 Control按鈕(與上面步驟中的CS2對(duì)應(yīng))。3,在上述第3步中選擇顯影對(duì)應(yīng)的配方(例如dev. test all)。
若自動(dòng)運(yùn)行過(guò)程中發(fā)生報(bào)警報(bào)警鈴響且界面上方Alarm和Buzzer off圖標(biāo)按鈕變紅色,表示某個(gè)單元出現(xiàn)了問(wèn)題,需要聯(lián)系設(shè)備相關(guān)工程師解決問(wèn)題。