芯片無塵室的超凈服介紹
在勻膠顯影設備凈化間,工作人員通常需要穿著超凈服以確保產品的質量和純度,保證實驗數據的精確。這種服裝的設計主要是為了防止工作人員的身體表面或呼出的空氣對微型電子元件的制造環境產生污染。超凈服通常被稱為Cleanroom Suit"或者"Bunny Suit",做半導體制造的小伙伴應該對超凈服比較熟悉,但是你確定自己懂它嗎?
超凈服的歷史——超凈服,是由英特爾Fab工廠提出,其歷史可以追溯到1968年。當時的芯片無塵室內工作人員穿著自己的衣物,并且環境并非無菌的。甚至有人會把比薩餅放在擴散爐上烘烤加熱。到了1971年,Intel的Fab 2工廠要求員工穿著專用罩衣,但不需要頭套或護腿。員工可以把它們帶回家洗,這種做法在常規清潔度上可能足夠,但卻無法防止小顆粒污染微芯片。更嚴格的清潔服裝協議始于1973年,Intel的Fab3工廠普及了我們目前熟悉的現代超凈服,并在1980年成為Intel公司的標準,隨后流行開來。
超凈服的材質——常見材質為聚酯。超凈服所用的聚酯材料是一種常見的聚合物,主要由聚酯纖維制成。聚酯是一種大分子聚合物,由酯基連接的單體重復單元組成。酯基是一個化學功能團,由一個羰基(C=O)和一個氧原子(-0-)組成,形式為 -C00-。聚酯是聚對苯二甲酸乙二醇酯(PET)。
以下是聚酯材料的一些主要特性:
1.耐磨:聚酯是一種非常耐磨的材料,其強度比自然纖維高。
2.耐化學品:聚酯對大多數常見的工業化學品具有很好的抵抗力,包括酸,堿和有機溶劑。這使得它在需要接觸化學品的環境中非常有用。
3.易洗:聚酯纖維的另一個優點是它易于清洗,可以在機器中洗滌,且不易皺。此外,它可以在高溫下清洗,這對于保持超凈服的潔凈至關重要。
4.防靜電:聚酯本身可能會產生靜電,但是超凈服的聚酯材料通常會摻入防靜電纖維或者涂覆有防靜電劑,以降低靜電積累。超凈服的靜電如何導走的?
超凈服防止靜電積聚的一種重要方式是通過地面接地系統,將人體產生的靜電導入大地。在勻膠顯影設備生產車間,員工通常需要穿戴特別的防靜電鞋或鞋套。這些鞋子或鞋套是由導電材料制成的,可以將人體產生的靜電從人體導入到地面。#凈化間的勻膠顯影設備#半自動勻膠機#勻膠顯影工藝#愛姆加半導體設備