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半導體科學中“END”
先進邏輯電路中的“Front-End”和“Back-End”
來源: | 作者:pmoe2a7d5 | 發布時間: 2024-12-11 | 2688 次瀏覽 | 分享到:

  我們見到“END”這個詞的時候,腦海中可能會浮現出“結尾”“劇終”等印象。在半導體科學中END這個詞會更接近于“邊”的用法。下面主要介紹晶體管形成截止的前端工藝(Front-End)和晶體管形成后多層布線工序的后端工藝(Back-End)。前端工藝的晶體管相關的制造工藝在晶圓中進行,而后端工藝的多層布線工藝是在晶圓上形成布線結構的。前端工藝就像建筑物上的基礎工程,而后端工藝相當于房屋的疊加,從某種意義上說,前端工藝有各種各樣的工藝:清洗、離子注入和熱處理、光刻、刻蝕、成膜、平坦化(CMP),并由這幾種工藝組合而成。前端工藝是多次重復相同的工序進行產品生產的方式,因經歷了多次相同的工藝又稱為循環型工藝。

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