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旋轉涂覆與狹縫涂膠的對比
來源:
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作者:
pmoe2a7d5
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發布時間:
2020-03-27
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轉速的快慢和控制精度直接關系到旋涂層的厚度控制和膜層均勻性。如果標示的轉速和電機的實際轉速誤差很大,對于要求精密涂覆的科研人員來說是無法獲得準確的實驗數據的。目前轉速控制方面有國際認定標準,如美國NIST標準等。
(2)真空吸附系統
真空泵一般采用無油泵,即通常說的干泵,因為任何的油污都可能堵塞真空管道,如果真空吸附力降低,會導致基片吸附不住而產生“飛片”的情況,還會讓滴的膠液不慎進入真空管道系統造成完全堵塞。有的勻膠機通過聯動機制,當真空吸附力不夠時不會開始旋轉。這樣可有效避免滴的膠液不慎進入真空管道系統。
B:
狹縫式涂布(Slot Die Coating)是一種高精密的涂布方式,適用于有機太陽能電池OPV和鈣鈦礦太陽能電池PVK等基材的涂布,非連續基材如LCD玻璃基板光阻涂布,也應用于光學膜(增亮膜、hardcoat、偏光膜、擴散膜等)、OLED涂布等。
狹縫涂布技術適用于各種涂布液,可廣泛應用于不同基材表面的涂布,如玻璃,不銹鋼和塑料基片
涂布模具相對于基片精確地運動,并精確檢測控制工藝流體及其涂布速度。
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