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旋轉(zhuǎn)涂覆與狹縫涂膠的對比
來源:
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作者:pmoe2a7d5
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發(fā)布時間: 2020-03-27
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勻膠機(jī)（spin coater)旋轉(zhuǎn)涂覆與狹縫(slit coater)涂膠的對比： Ａ：旋轉(zhuǎn)涂覆技術(shù)所使用的設(shè)備是勻膠機(jī)。勻膠機(jī)有很多種稱謂，英文叫Spin Coater或者Spin Processor，又稱甩膠機(jī)、勻膠臺、旋轉(zhuǎn)涂膠機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂層機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂布機(jī)、旋轉(zhuǎn)薄膜機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂覆儀、旋轉(zhuǎn)涂膜儀、勻膜機(jī)，總的來說，他們原理都是一樣的，即在高速旋轉(zhuǎn)的基片上，滴注各類膠液，利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上，厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數(shù)而不同，也和旋轉(zhuǎn)速度及時間有關(guān)。 從其原理來說，勻膠機(jī)有以下兩個特點(diǎn)。 （1）旋轉(zhuǎn)速度 轉(zhuǎn)速的快慢和控制精度直接關(guān)系到旋涂層的厚度控制和膜層均勻性。如果標(biāo)示的轉(zhuǎn)速和電機(jī)的實際轉(zhuǎn)速誤差很大，對于要求精密涂覆的科研人員來說是無法獲得準(zhǔn)確的實驗數(shù)據(jù)的。目前轉(zhuǎn)速控制方面有國際認(rèn)定標(biāo)準(zhǔn)，如美國NIST標(biāo)準(zhǔn)等。 （2）真空吸附系統(tǒng) 真空泵一般采用無油泵，即通常說的干泵，因為任何的油污都可能堵塞真空管道，如果真空吸附力降低，會導(dǎo)致基片吸附不住而產(chǎn)生“飛片”的情況，還會讓滴的膠液不慎進(jìn)入真空管道系統(tǒng)造成完全堵塞。有的勻膠機(jī)通過聯(lián)動機(jī)制，當(dāng)真空吸附力不夠時不會開始旋轉(zhuǎn)。這樣可有效避免滴的膠液不慎進(jìn)入真空管道系統(tǒng)。 Ｂ： 狹縫式涂布(Slot Die Coating)是一種高精密的涂布方式，適用于有機(jī)太陽能電池OPV和鈣鈦礦太陽能電池PVK等基材的涂布，非連續(xù)基材如LCD玻璃基板光阻涂布，也應(yīng)用于光學(xué)膜(增亮膜、hardcoat、偏光膜、擴(kuò)散膜等)、OLED涂布等。 狹縫涂布技術(shù)適用于各種涂布液，可廣泛應(yīng)用于不同基材表面的涂布，如玻璃，不銹鋼和塑料基片 涂布模具相對于基片精確地運(yùn)動，并精確檢測控制工藝流體及其涂布速度。
勻膠機(jī)（spin coater)旋轉(zhuǎn)涂覆與狹縫(slit coater)涂膠的對比：
Ａ：旋轉(zhuǎn)涂覆技術(shù)所使用的設(shè)備是勻膠機(jī)。勻膠機(jī)有很多種稱謂，英文叫Spin Coater或者Spin Processor，又稱甩膠機(jī)、勻膠臺、旋轉(zhuǎn)涂膠機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂層機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂布機(jī)、旋轉(zhuǎn)薄膜機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂覆儀、旋轉(zhuǎn)涂膜儀、勻膜機(jī)，總的來說，他們原理都是一樣的，即在高速旋轉(zhuǎn)的基片上，滴注各類膠液，利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上，厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數(shù)而不同，也和旋轉(zhuǎn)速度及時間有關(guān)。
從其原理來說，勻膠機(jī)有以下兩個特點(diǎn)。
（1）旋轉(zhuǎn)速度
轉(zhuǎn)速的快慢和控制精度直接關(guān)系到旋涂層的厚度控制和膜層均勻性。如果標(biāo)示的轉(zhuǎn)速和電機(jī)的實際轉(zhuǎn)速誤差很大，對于要求精密涂覆的科研人員來說是無法獲得準(zhǔn)確的實驗數(shù)據(jù)的。目前轉(zhuǎn)速控制方面有國際認(rèn)定標(biāo)準(zhǔn)，如美國NIST標(biāo)準(zhǔn)等。
（2）真空吸附系統(tǒng)
真空泵一般采用無油泵，即通常說的干泵，因為任何的油污都可能堵塞真空管道，如果真空吸附力降低，會導(dǎo)致基片吸附不住而產(chǎn)生“飛片”的情況，還會讓滴的膠液不慎進(jìn)入真空管道系統(tǒng)造成完全堵塞。有的勻膠機(jī)通過聯(lián)動機(jī)制，當(dāng)真空吸附力不夠時不會開始旋轉(zhuǎn)。這樣可有效避免滴的膠液不慎進(jìn)入真空管道系統(tǒng)。
Ｂ：
狹縫式涂布(Slot Die Coating)是一種高精密的涂布方式，適用于有機(jī)太陽能電池OPV和鈣鈦礦太陽能電池PVK等基材的涂布，非連續(xù)基材如LCD玻璃基板光阻涂布，也應(yīng)用于光學(xué)膜(增亮膜、hardcoat、偏光膜、擴(kuò)散膜等)、OLED涂布等。
狹縫涂布技術(shù)適用于各種涂布液，可廣泛應(yīng)用于不同基材表面的涂布，如玻璃，不銹鋼和塑料基片
涂布模具相對于基片精確地運(yùn)動，并精確檢測控制工藝流體及其涂布速度。
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