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勻膠顯影機用機械手
勻膠顯影機用機械手裝置的制作方法 技術領域： 本實用新型涉及軌道式勻膠/顯影機中晶片的轉移機構，具體為一種勻膠顯影機用機械手裝置。
來源:
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作者:pmoe2a7d5
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發布時間: 2020-03-27
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勻膠/顯影機是線性模塊配置的全自動設備，任意兩個相鄰模塊之間都需要一個晶片的轉移機構，所以晶片的模塊間準確快速傳送就顯得格外重要。為了實現不同模塊之間晶片的平穩轉移和取放，
一個簡易機械手的開發顯得尤為重要。該機械手應該能完成左右旋轉和上下升降兩個功能，結構簡單而可靠，同時造價較低，并能實現完全的國產化。
一個簡易機械手的開發顯得尤為重要。該機械手應該能完成左右旋轉和上下升降兩個功能，結構簡單而可靠，同時造價較低，并能實現完全的國產化。
新型內容本實用新型的目的在于提供一種勻膠顯影機用機械手裝置，該機械手結構簡單可靠而又合理，操作維修非常方便，且造價較低。
本實用新型的技術方案是膠顯影機用機械手裝置，包括主軸、套筒、大齒輪I、大齒輪II、底板、機械手、小齒輪I、支座、小齒輪II、升降電機、旋轉電機；主軸外側設有套筒，小齒輪II由旋轉電機驅動，小齒輪II與大齒輪I通過皮帶傳動，大齒輪I通過連接部件與套筒固定，套筒上端與底板相連，主軸上部穿過底板，大齒輪II與主軸上部連接，支座置于底板上，大齒輪II與主軸上部連接，支座置于底板上，小齒輪I置于支座上，與機械手通過連接部件連接的小齒輪I與大齒輪II之間通過皮帶傳動。
所述皮帶上下可以設有張緊輪；所述支座內開有與真空管、機械手相通的通道，主軸為中空軸，需要傳送的晶片置于機械手上表面，通過真空吸附裝置、主軸、真空管、支座，從機械手底部將晶片吸附于機械手上表面。
所述支座為“⊥”形，其內通道為“」”形，小齒輪I與“⊥”形支座的豎向通過軸承配合。
本實用新型絲杠與升降電機連接，絲杠穿過提升板，與提升板螺紋傳動配合；同時，主軸、導向桿穿過提升板，形成對提升板的三點定位。
本實用新型位置檢測開關安裝在提升板上，與位于提升板右側的極限位檢測片配合完成機械手上下位的檢測。
本實用新型旋轉電機和升降電機可以為同步電機。
本實用新型的優點及有益效果是
1、本實用新型晶片在機械手上放置的中心點總是在一條直線上運動，且移動距離可調。
1、本實用新型晶片在機械手上放置的中心點總是在一條直線上運動，且移動距離可調。
2、本實用新型機械手配有真空吸附，輔助晶片定位，確保晶片在移動中不發生偏移。
3、本實用新型機械手的上下移動和左右旋轉均由步進馬達實現，靠脈沖個數的給定來實現準確的重復定位精度。
4、本實用新型可以擁有良好的人機交互界面，對機械手進行監控。
5、本實用新型結構簡單可靠而又合理，操作維修非常方便，且造價較低。
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