歡迎您來(lái)到愛姆加電子設(shè)備有限公司官網(wǎng)，我們將竭誠(chéng)為您服務(wù)！
服務(wù)電話：+86-15891750928
愛姆加電子設(shè)備
勻膠顯影蝕刻專用設(shè)備生產(chǎn)商
誠(chéng)信創(chuàng)新
精工
專注
專注成就品質(zhì)，品質(zhì)塑造未來(lái)！
Focus on the achievement of quality, quality to shape the future！?
新聞中心
晶圓級(jí)封裝與后膜光刻膠（上）
厚膜光刻膠和光刻聚合物目前已廣泛應(yīng)用于先進(jìn)封裝技術(shù)中。焊接凸點(diǎn)需要很厚的光阻層和較高重復(fù)精度，但并不要求很陡的側(cè)壁傾角；金凸點(diǎn)和銅布線則要求中等厚度的光阻膜，而且對(duì)側(cè)壁的精度與傾角要求都很高。對(duì)于感光介電材料中的過(guò)孔而言，最好應(yīng)有傾斜的側(cè)壁傾角以便與介電層下的金屬焊盤保持良好接觸。所有這些應(yīng)用均可采用貼近式掩膜整版曝光法以便經(jīng)濟(jì)地進(jìn)行大批量生產(chǎn)。
來(lái)源:
|
作者:pmoe2a7d5
|
發(fā)布時(shí)間: 2024-01-22
|
5714 次瀏覽
|
分享到:
有報(bào)告指出，步進(jìn)器的光學(xué)結(jié)構(gòu)會(huì)被曝光時(shí)產(chǎn)生的BCB揮發(fā)物污染。在作貼近印刷時(shí)，揮發(fā)物的濃度很低，不會(huì)形成污染。但如果有了污染，則應(yīng)經(jīng)常對(duì)掩模進(jìn)行清理，曝光系統(tǒng)在任何時(shí)候都不應(yīng)靠近聚合物。在二次布線過(guò)程中，晶圓上面的BCB電介層可作為一種附加的保護(hù)層。該層內(nèi)的外圍電路焊盤都是開路的，銅線從電介層的頂部穿過(guò)BCB層上的通孔，將外圍電路與BCB層頂端的大焊盤陣列連接起來(lái)[2]。此時(shí)可以用較高直寬比的正性光阻材料，如AZ 9260或TOK PMER P-LA900PM等，這和前面金凸點(diǎn)部分一樣。
#半導(dǎo)體#勻膠顯影設(shè)備
中國(guó)西安市未央?yún)^(qū)石化大道南徐寨工業(yè)園愛姆加電子
15891750928 / 029-8362-7399
51252494@qq.com
15891750928 / 029-8362-7399
51252494@qq.com
COPYRIGHT ? 2011-2020. 陜西愛姆加電子設(shè)備有限公司
