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此設(shè)備主要由片盒站、傳送機(jī)器人、勻膠/顯影單元、烘烤單元（HMDS模塊、熱板模塊、冷板模塊）部份附件以及控制系統(tǒng)組成。

勻膠單元(SPIN COT UNIT)：

1.根據(jù)工藝選配數(shù)量(COT-DEV-OVEN-HMDS)

2.EBR&BSR 功能可選

顯影單元(DEV UNIT)：

根據(jù)工藝選配數(shù)量可選

熱板烘單元(OVEN UNIT)：

根據(jù)工藝選配數(shù)量

供液系統(tǒng)：膠路，顯影均勻選配