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型號：Ｍ+-DS200C 主要特點：  

適應尺寸：200mm×200mm t=1-8mm以下方形基片

具有旋涂、勻膠、清洗、吹氮功能

主軸采用進口電機及部件

高轉速、精度±1RPM

FFU-THC功能（可選）

相對于OLED、TFT的工藝的要求.