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勻膠機是在高速旋轉(zhuǎn)的基片上，滴注各類膠液，利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上的設(shè)備，

膜的厚度取決于勻膠機的轉(zhuǎn)速和溶膠的黏度

旋轉(zhuǎn)涂覆技術(shù)所使用的設(shè)備是勻膠機。勻膠機有很多種稱謂，英文叫Spin Coater或者Spin Processor，

又稱甩膠機、勻膠臺、旋轉(zhuǎn)涂膠機、旋轉(zhuǎn)涂膜機、旋轉(zhuǎn)涂層機、旋轉(zhuǎn)涂布機、旋轉(zhuǎn)薄膜機、旋轉(zhuǎn)涂覆儀、

旋轉(zhuǎn)涂膜儀、勻膜機，總的來說，他們原理都是一樣的，即在高速旋轉(zhuǎn)的基片上，滴注各類膠液，

利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上，厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數(shù)而不同，

也和旋轉(zhuǎn)速度及時間有關(guān)

勻膠機技術(shù)指標：

1.主軸轉(zhuǎn)速： 　　　200～8000RPM，精度±1RPM，轉(zhuǎn)速可調(diào)。

2.主軸加速度：　 　30000RPM/S，連續(xù)可調(diào)（只對涂膠）

3.工藝工步時間：　 0～999.9秒，設(shè)定增量±0.1秒

4.電源條件：　　 　AC220V±10％，50Hz，總功率1.5KW

5.真空條件：            真空度≤-0.085Mpa，