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型號(hào)：Ｍ+-DS200C 主要特點(diǎn)：
適應(yīng)尺寸：200mm×200mm t=1-8mm以下方形基片
具有旋涂、勻膠、清洗、吹氮功能
主軸采用德國進(jìn)口電機(jī)及部件
電機(jī)精度±1RPM
FFU功能（可選）    

型號(hào)：Ｍ+-DS200C 主要特點(diǎn)：  

適應(yīng)尺寸：200mm×200mm t=8mm以下方形基片

具有旋涂、勻膠、清洗、吹氮功能

主軸采用德國進(jìn)口電機(jī)及部件

調(diào)整±1RPM

FFU功能（可選）