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用途：主要用于光阻涂膠工藝，原理是借用于液體的漲力原理進行彎月牙涂膠，主要裝置就液刀口溢出的光阻涂布在基板表面。

一、產品使用范圍：    

二、彎月牙涂膠基板尺寸：1400 mm×420 mm×200 mm)； 液體膠刀的有效尺寸為：420mm：

二、設備概述：                                                                                              

此膠狹縫系統包括供膠系統、精密膠刀、平面度調節機構、膠盒移動等部件組成。 1 供膠系統：伺服電機帶動磁力泵供給膠刀，回流過濾循環供給，膠泵采購進口壓力流量可調的磁力泵。 2 精密膠刀： 膠刀出液狹縫可調，可適應100CP-200CP的光阻藥液。同時出液的高度（0.15-0.25mm）通過調整泵的  供壓力及狹縫配合來調。 3 平面度調節機構 膠刀與膠盒的平行度可通過膠盒內的螺釘進行調平，膠刀與連接平面也可調整，膠刀與基板的平面通過機 械方式也可調整。 4 利用電磁閥及氣缸來實現膠盒蓋的上下、左右方向的移動。 三、設備控制設計：                                                                                    

供泵系統膠泵為伺服電機，膠泵的壓力、流速通過調節電機的轉速控制。 2.膠盒蓋通過氣缸控制+電磁閥（氣缸都裝有上下，左右位置檢測傳感器）。 3.基板移動加有接近開關（主要用于檢測基板是否移過）。