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設備特點：
1、手動上下取片
2、自動完成滴膠、甩膠、勻膠等工藝
3、自動供膠系統，可根使用的膠粘度分別配備不同的PUMP
4、EBR&BSR功能可選配

適用圓片尺寸: 2”、3”、4”；以及5x5,10x10,25x25方片

主軸轉速：200～7000轉/分，誤差±20轉/分,連續可調；

主軸加速度（空載）：0～3×103rad/秒2，連續可調； 
工藝工步時間：0～999.9秒，設定增量±0.1秒；