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勻膠顯影蝕刻專用設(shè)備生產(chǎn)商



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全自動勻膠顯影機
    發(fā)布時間: 2020-03-24 16:35    

Wafer Size: 2-12英寸（兼容尺寸依據(jù)客戶晶圓尺寸可選）
全自動勻膠顯影一體機

設(shè)備和各工位全封閉設(shè)計，不受外環(huán)境干擾

設(shè)備實現(xiàn)2"-12"晶圓涂膠（SPIN COATING）-顯影模
 (SPIN DEV)-OVEN單元（冷熱板及增粘功能可選）

同片盒內(nèi)每個硅片可分別制定工藝運行

自帶暫停/恢復功能,以及故障排除功能，排風自動調(diào)節(jié)（可選）

全自動勻膠顯影機

全自動勻膠顯影

產(chǎn)品特點及基本配置： 

　   同一設(shè)備實現(xiàn)2"-12"晶圓
　   涂膠、顯影模塊自帶暫停/恢復功能
　   同片盒內(nèi)每個硅片可分別制定工藝運行
　   設(shè)備和各工位全封閉設(shè)計，不受外環(huán)境干擾
　   可獨立增加層流罩，提升小環(huán)境潔凈度
　   干濕分離，電液分隔
　   維護省力、簡便 

      勻膠單元-顯影機-OVEN單元（HMDS+HP+CP）              

         

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