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Focus on the achievement of quality, quality to shape the future！?
12英寸自動(dòng)勻膠顯影機(jī)－愛姆加電子
    發(fā)布時(shí)間: 2020-03-24 17:23    

Pumping封裝、3D-TSV、MEMS、OLED等領(lǐng)域PR工藝涂膠膠顯影

Wafer Size: 12英寸全自動(dòng)勻膠顯影一體機(jī)

設(shè)備和各工位全封閉設(shè)計(jì)，不受外環(huán)境干擾

晶圓涂膠（SPIN COATING）-顯影模
      (SPIN DEV)-OVEN單元（冷熱板及增粘功能可選）

同片盒內(nèi)每個(gè)硅片可分別制定工藝運(yùn)行

自帶暫停/恢復(fù)功能,以及故障排除功能，排風(fēng)自動(dòng)調(diào)節(jié)（可選）

12英寸自動(dòng)勻膠顯影機(jī)－愛姆加電子

自動(dòng)勻膠顯影機(jī)
使用范圍：
pumping封裝、3D-TSV、MEMS、OLED等領(lǐng)域PR工藝涂膠膠顯影；
產(chǎn)能：預(yù)估100wafer/H;
產(chǎn)品種類：晶片如硅、玻璃片、鍵合片、化合物產(chǎn)品、邏輯類、存儲(chǔ)類芯片、
攝像頭芯片、功率器件芯片、OLED領(lǐng)域。

· 全自勻膠顯影技術(shù)指標(biāo)：

· 1、Camber根據(jù)用戶要求可選配

· 2、主軸速度:50-6000rpm

· 3、THC&FFU等功能

· 4、EBR&BSR功能

· 5、PR數(shù)量可選配（標(biāo)配2路）

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