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全自動去膠剝離機
    發(fā)布時間: 2020-03-25 15:23    

NMP液體--高溫高壓  DMSO液體--高溫高壓去膠剝離機
半導體工藝中的撕金剝離工藝
功能有:浸泡槽-高壓腔-清洗腔
浸泡槽功能有:加熱-超聲-晃動功能
高壓腔:在線加熱,常壓噴嘴
清洗腔:可選超聲波功能,BRUSH功能

全自動去膠剝離機


線性布局,自動傳片,自動完成去膠工藝。
晶圓尺寸根據(jù)用戶需求。
腔體共有三層,每層都有單獨的藥液排放 循環(huán)功能。
清洗多種金屬顆粒和有機物殘留。
藥液在循環(huán)中,根據(jù)顆粒大小配備相應過濾系統(tǒng)。
藥液恒溫,或在線加熱供給功能。

一、適應的藥液有以下幾種:

NMP液體--高溫高壓

DMSO液體--高溫高壓

IPA液體

DI-water

二、功能選擇:

片盒到片盒

進口機械手

CHAMBER采用耐酸堿材質(zhì)

分層藥液排放,省液,提供了生產(chǎn)率

自動供液、補液。

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