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熱板爐AMJ-HP200
    發(fā)布時(shí)間: 2020-03-26 09:57    

前道涂膠處理的晶片或其它基片在設(shè)定溫度和設(shè)定時(shí)間范圍內(nèi)的接觸式烘烤


熱板爐AMJ-HP200

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一、主要技術(shù)規(guī)格:

1. 熱板尺寸:  有效尺寸Φ200mm

2. 熱板溫度:  60℃-300℃(溫度為150℃以上請(qǐng)勿合蓋)

3. 溫度均勻性: ±1℃(Φ200mm以內(nèi)區(qū)域)

4. 手動(dòng)開關(guān)爐蓋及放取硅片

5. 電子定時(shí):  1分鐘-99小時(shí)99分鐘,功率1000W

6. 烘烤方式:烘接觸式烘烤晶片或其它基片

二、主要結(jié)構(gòu)和工作原理

該熱板爐主要由熱板、管式加熱器、溫控儀、J 型熱電偶、固態(tài)繼電器、時(shí)間繼電器等組成,

本系統(tǒng)是一種閉環(huán)自動(dòng)反饋控制系統(tǒng),通過(guò)PID調(diào)節(jié),求得系統(tǒng)溫度控制精度。

三、安裝

1.本系統(tǒng)應(yīng)安放在水平臺(tái)面上,將機(jī)箱外的電源插座內(nèi)

2.外形尺寸:(L×W×H)280mm×300mm×400mm

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