愛姆加電子設備
勻膠顯影蝕刻專用設備生產商
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全自動勻膠顯影機
發(fā)布時間: 2020-03-24 16:35
Wafer Size: 2-12英寸（兼容尺寸依據(jù)客戶晶圓尺寸可選）
全自動勻膠顯影一體機
設備和各工位全封閉設計，不受外環(huán)境干擾
設備實現(xiàn)2"-12"晶圓涂膠（SPIN COATING）-顯影模
(SPIN DEV)-OVEN單元（冷熱板及增粘功能可選）
同片盒內每個硅片可分別制定工藝運行
自帶暫停/恢復功能,以及故障排除功能，排風自動調節(jié)（可選）
全自動勻膠顯影
產品特點及基本配置：
同一設備實現(xiàn)2"-12"晶圓
涂膠、顯影模塊自帶暫停/恢復功能
同片盒內每個硅片可分別制定工藝運行
設備和各工位全封閉設計，不受外環(huán)境干擾
可獨立增加層流罩，提升小環(huán)境潔凈度
干濕分離，電液分隔
維護省力、簡便
勻膠單元-顯影機-OVEN單元（HMDS+HP+CP）
下一個：
無
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15891750928 / 029-8362-7399
51252494@qq.com
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