在线观看av影片 I 欧美成人亚洲成人 I 亚洲视频 碰碰 I 欧美成黄导航 I 免费日本在线视频 I 欧美黄污视频 I 91精品视频在线看 I 午夜电影福利网 I 成人爱爱网址 I 综合久草视频 I 久久婷婷影院 I 非洲av在线播放 I 成年午夜日本大全 I 久草中文在线观看 I 精品久久不卡 I 美女又黄又爽 I 自拍偷拍第八页 I 污视频网址导航 I 欧美日韩成人网 I 亚洲自拍偷拍视频 I 亚洲青青一区 I 男人和女人在一起污污的app I av网站大全在线免费观看 I 国产亚洲美州欧州综合国 I 谢俞被塞东西 I 免费色网站在线观看 I 国内免费自拍视频 I 国产美女亚洲精品7777 I 在线观看精品自拍私拍 I 欧美精品免费在线观看 I 欧美二区三区在线 I 999国产精品亚洲77777 I 欧美日韩精品免费看

產品特點： 
      設備實現2"-12"晶圓
      涂膠、顯影模塊自帶暫停/恢復功能
      同片盒內每個硅片可分別制定工藝運行
      設備和各工位全封閉設計，不受外環境干擾
      可獨立增加層流罩，提升小環境潔凈度
      干濕分離，電液分隔
      維護省力、簡便

一、使用領域:

      IC半導體、LED、Bumping、化合物、光通訊、OLED、MEMS等 Wafer Size 晶圓尺寸：Φ2"-8"
     Spin motor主軸轉速：0-8000rpm±1rpm
　  Uniformation膜厚均勻性：＜1％(參考AZ1500）
　 Temperation溫度均勻性：0-250℃±0.5℃                                                      
     MTBF：≥1500小時  

 Uptime95％                                                                                          

二、涂膠單元 Coater Uint：       膠盤：Teflon，Delrin 

　  可編程移動式滴膠
　  可配3路噴嘴
　  正/背面去邊清洗
　  主軸電機：伺服電機（高速：8000rpm）
　  勻膠溫度控制（選配）
　  噴嘴預清洗（選配）
　  環境溫濕度控制（選配）

三、顯影單元 Developer：                                                                 

      膠盤:Delrin 
　  4路噴液（2 spray，1 streaam, 1 Dl water）
　  主軸電機：伺服電機（高速：8000rpm）
　  背面清洗
　  滴液方式：膠泵或壓力罐
　  液體溫度控制（選配）
　  排風控制 
　  體積尺寸：1400mm（W）×1400mm（D）×1700mm(H)