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自動勻膠顯影機
使用范圍：
pumping封裝、3D-TSV、MEMS、OLED等領域PR工藝涂膠膠顯影；
產能：預估100wafer/H;
產品種類：晶片如硅、玻璃片、鍵合片、化合物產品、邏輯類、存儲類芯片、
攝像頭芯片、功率器件芯片、OLED領域。

· 全自勻膠顯影技術指標：

· 1、Camber根據用戶要求可選配

· 2、主軸速度:50-6000rpm

· 3、THC&FFU等功能

· 4、EBR&BSR功能

· 5、PR數量可選配（標配2路）